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  氦质谱检漏仪开始检漏后,阀门V2打开,粗抽泵对待测器件或者嗅探探头进行初步的抽真空。当真空规管P2测得粗抽泵已将真空抽至气压小于15hPa后,阀门V1打开,由于分子泵A和B的压缩能力与气体分子的质量相关,较轻的氦可以部分地逆着分子泵气流的方向到达氦传感器,而重的气体被阻挡在外,这就是逆向流技术。这时候虽然真空度并不高,但通过逆向流技术,对气流进行采样,也能够对非常高的漏率进行测量。

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然而膜分离技术也是以空气为原料,压缩空气通过中空纤维膜,由于不同气体分子直径不同,当空气通过膜的时候,分子直径较小的氧气、二氧化碳和水蒸汽会通过中空纤维膜管道上的小孔,进而排到大气中去。在膜的出口,大分子直径的氮气分子和惰性气体氩气都被收集起来,从而完成氮气的提取过程。

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